​​为什么长三角包揽7家设备十强企业？​​
2023年数据显示，长三角半导体设备产业规模达217亿元，占全国68%。​​上海微电子​​的光刻机研发中心、​​中微半导体​​的刻蚀设备生产基地、​​盛美上海​​的清洗设备