​​核心问题：哪些零部件实现完全替代？​​
2023年供应链审计数据显示，​​射频电源​​、​​机械手​​和​​真空泵​​三大类部件国产化率超85%。​​北方华创​​的射频电源模块已迭代至第7代，故障率降至0.03次/千