​​核心问题：国产设备专利增速有多快？​​
2023年十强企业半导体设备领域专利申请量突破1.2万件，同比增长68%。​​北方华创​​以2876件专利领跑，其中​​等离子体控制技术专利群​​覆盖刻蚀设备85%核心技术；​​中微