​​核心问题：2023年半导体设备十强评选标准是什么？​​
本次榜单综合考量三大维度：

​​技术自主化率​​（国产设备核心零部件自给率超35%）
​​量产验证进度​​（至少3家主流晶圆厂产线实测数据）
​​专利质量指数​​（