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​​国产检测设备替代率为何三年翻三倍？​​
2023年半导体检测设备国产化率突破35%，较2020年增长23个百分点。核心驱动力包括：

​​中科飞测​​缺陷检测精度达0.12nm（接近KLA水平）
​​精测电子​​量测速度提升至3