当上海微电子宣布28nm DUV光刻机进入量产时,整个半导体产业屏住了呼吸——这台设备的极限分辨率标注着10nm,但工程师们正在尝试用四重曝光技术挑战5nm工艺。这种看似疯狂的实验,正在改写全球芯片制造业的游戏规则
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